Macchina a spruzzo di zinco a caldo
L'evaporazione termica comporta il riscaldamento di un materiale solido che verrà utilizzato per rivestire un substrato all'interno di una camera ad alto vuoto fino a quando non inizia a bollire ed evapora producendo pressione di vapore. All'interno della camera di deposizione sotto vuoto, anche una pressione di vapore relativamente bassa è sufficiente per sollevare una nuvola di vapore. Questo materiale evaporato costituisce ora una corrente di vapore che il vuoto consente di viaggiare senza reagire o disperdersi contro altri atomi. Attraversa la camera e colpisce il substrato, aderendovi come un rivestimento o una pellicola sottile.
Processo di evaporazione termica e evaporazione termica
L'evaporazione termica comporta il riscaldamento di un materiale solido che verrà utilizzato per rivestire un substrato all'interno di una camera ad alto vuoto fino a quando non inizia a bollire ed evapora producendo pressione di vapore. All'interno della camera di deposizione sotto vuoto, anche una pressione di vapore relativamente bassa è sufficiente per sollevare una nuvola di vapore. Questo materiale evaporato costituisce ora un flusso di vapore che il vuoto consente di viaggiare senza reagire o disperdersi contro altri atomi. Attraversa la camera e colpisce il substrato, aderendovi come un rivestimento o una pellicola sottile.
Esistono due metodi principali per riscaldare il materiale sorgente durante l'evaporazione termica. Uno è noto come evaporazione del filamento, poiché si ottiene con un semplice elemento riscaldante elettrico o filamento. L'altra fonte di calore comune è un fascio di elettroni o E-Beam Evaporation in cui un fascio di elettroni è puntato sul materiale sorgente per farlo evaporare ed entrare nella fase gassosa.
I sistemi di evaporazione a film sottile possono offrire i vantaggi di velocità di deposizione relativamente elevate, controllo della velocità e dello spessore in tempo reale e (con un'adeguata configurazione fisica) un buon controllo direzionale del flusso dell'evaporante per processi come Lift Off per ottenere rivestimenti a disegno diretto.
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