Macchina di rivestimento al plasma ionico ad arco a camera di grandi dimensioni

Il principio della placcatura ionica ad arco è studiato sulla base della teoria della scarica ad arco sottovuoto a catodo freddo. La tecnologia principale della macchina per rivestimento ionico multi-arco è la sua fonte di evaporazione dell'arco. La fonte di evaporazione della macchina di rivestimento ionico multi-arco è una fonte di evaporazione solida relativamente speciale di autoevaporazione e autoionizzazione di scarica ad arco a catodo freddo.

Rispetto alla sorgente di evaporazione tradizionale, la sorgente di evaporazione ad arco del verniciatore ionico multi-arco ha caratteristiche evidenti:

Il film di rivestimento ha un'alta densità, una lunga durata del film e un'elevata resistenza;

Essendo una sorgente di evaporazione ad arco di tipo solido, è possibile modificarne la forma, le dimensioni e la posizione;

Ampia gamma di vuoto operativo;

maggiore energia ionica;

Alto tasso di ionizzazione fino al 60 percento -80 percento ;

Elevate velocità di deposizione, come TiN, possono raggiungere velocità di deposizione elevate di 100 nm/s~1000 nm/s.

Il nitruro di titanio può essere utilizzato come film rivestito su vetro. Quando la riflettività infrarossa è maggiore del 75 percento, quando lo spessore della pellicola di nitruro di titanio è maggiore di 90 nm, le prestazioni di isolamento termico del vetro possono essere efficacemente migliorate. Inoltre, la regolazione della percentuale di azoto nel nitruro di titanio può modificare il colore del film di nitruro di titanio, ottenendo così un effetto estetico ideale.

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