Caratteristiche di progettazione del dispositivo chip di confronto multi-chip della macchina di rivestimento sottovuoto

1) Cilindro fisso 3 Il design di forma cilindrica, grande diametro, struttura a pareti spesse e metodo di fissaggio circonferenzialmente simmetrico può garantire resistenza e rigidità sufficienti e, allo stesso tempo, può anche impedire che l'abrasivo sputtering ad alta temperatura contamini le sue parti interne , per garantire la flessibilità della rotazione del quadrante 15 .

2) Il design della sede circolare 2 del cuscinetto garantisce la tenuta e la verticalità dell'installazione della sede del cuscinetto; aumentare il diametro dell'albero 1, aumentare la distanza di installazione tra i due cuscinetti nella sede del cuscinetto 2, migliorare la propria resistenza e rigidità, garantire La rigidità dell'albero 1 e la flessibilità rotazionale del quadrante 15 durante il processo di rotazione sono coerenti con la ripetibilità della posizione.

3) Caricando il meccanismo di trasposizione, espandendo il diametro della piastra di supporto 16, si aumenta l'area effettiva del meccanismo nella direzione del piano e si può installare una pellicola comparativa di grande diametro (Φ26,5 mm), che è favorevole alla regolazione del cammino ottico e migliora la qualità del film ottico; Il pezzo di confronto 12 è costituito da un unico pezzo di vetro come unità di pezzo di confronto. Il pezzo di confronto adotta il metodo di installazione dell'impilamento tridimensionale spaziale. Più pezzi di vetro vengono impilati e installati in un cilindro di stoccaggio di pezzi di confronto 13, in modo che possano essere posizionati 50~100 pezzi di pezzi di confronto alla volta, il che risolve il problema della macchina di rivestimento. Rivestimento di pellicole ottiche di precisione multistrato, rispetto al problema che il numero ridotto di fogli influisce sul numero di strati di rivestimento e sull'accuratezza.

4) La cooperazione della piastra di posizionamento 6 e dell'accoppiamento ottico a fessura 17, tramite l'accoppiamento ottico a fessura, vengono rilevate le tre fessure di 120 gradi equamente divise sulla piastra di posizionamento e la rotazione del motore è controllata per arrestarsi . La coerenza della rotazione e del posizionamento dell'asse 1 è garantita per essere ripetuta, e il quadrante 15 è azionato per completare l'accurata azione del quadrante.

5) Il meccanismo di alimentazione della tenuta rotante è introdotto nel meccanismo di tenuta Wilson 5, che non solo assicura che il motore 9 aziona la rotazione flessibile dell'albero 1 attraverso l'ingranaggio, ma assicura anche l'effetto di tenuta della camera a vuoto alla fuori. Il design ottimizzato del dispositivo di confronto multi-truciolo della macchina di rivestimento sottovuoto presenta le seguenti caratteristiche: (1) struttura semplice, elevata resistenza e buona affidabilità; (2) Il numero di chip di confronto è elevato, l'efficienza di produzione è migliorata e l'ottica di precisione ultra multistrato può essere rivestita (3) Il diametro della pellicola comparativa è aumentato, la precisione del monitoraggio della pellicola è migliorata, il i requisiti per il sistema hardware sono ridotti e il sistema è facile da realizzare il controllo automatico; (4) Il costo di manutenzione è basso.

Grazie al design ottimizzato del dispositivo pezzo di confronto multi-pezzo della macchina di rivestimento sottovuoto, sono garantite la flessibilità della rotazione del meccanismo del pezzo di confronto e la coerenza della ripetizione, e la piccola area effettiva del pezzo di confronto, la regolazione scomoda di il percorso ottico e il rapporto segnale-rumore del segnale ottico sono risolti. Risolve anche il problema del minor carico di fogli comparativi, che può migliorare notevolmente la qualità della pellicola ottica rivestita dalla macchina di rivestimento sottovuoto esistente e la pellicola ottica con più di 30 strati può essere rivestita. La pratica ha dimostrato che questa struttura comparativa del foglio è utile e può essere promossa e implementata nella moderna industria del rivestimento ottico sottovuoto.