Macchina per il rivestimento degli strumenti PVD

Da cosa è composto il sistema di apparecchiature di rivestimento PVD sottovuoto? Oggi vi faremo una breve introduzione.

(1) Pompa principale: nel sistema del vuoto, la pompa del vuoto utilizzata per ottenere il grado di vuoto richiesto per soddisfare i requisiti di processo specifici, come la pompa a diffusione dell'olio nella macchina per il rivestimento del vuoto, è la pompa principale.

(2) Pompa principale: una pompa a vuoto utilizzata per mantenere la pressione della linea principale di una pompa a vuoto al di sotto della sua pressione critica principale. Ad esempio, la pompa rotativa a palette o con valvola a spola configurata davanti alla pompa Roots è la pompa di prevuoto.

(3) Pompa di massima: una pompa per vuoto che inizia a pompare dalla pressione atmosferica e pompa la pressione del sistema a un'altra pompa per vuoto per iniziare a funzionare. Ad esempio, la pompa con valvola a cassetto nella macchina di rivestimento sottovuoto è la pompa del petrolio greggio.

(4) Pompa di manutenzione: nel sistema del vuoto, il volume d'aria è molto piccolo e la pompa di prevuoto non può essere utilizzata in modo efficace. A tal fine, viene configurata una pompa ausiliaria di portata minore per la manutenzione della pompa principale, denominata pompa di manutenzione. Ad esempio, una piccola pompa rotativa a palette è dotata all'uscita della pompa di diffusione, che è una pompa di manutenzione.

Infatti, un semplice sistema di vuoto può ottenere solo un vuoto grossolano. Quando si desidera un alto vuoto, una pompa per alto vuoto è solitamente collegata in serie nel sistema per vuoto. Ad esempio, una pompa Roots e una pompa a vite sono tutte pompe che ottengono un alto vuoto. Quando una pompa per alto vuoto è collegata in serie, le valvole vengono solitamente aggiunte all'ingresso e all'uscita della pompa per alto vuoto, in modo che la pompa per alto vuoto possa mantenere il vuoto da sola. Se la pompa per alto vuoto collegata in serie è una pompa a diffusione dell'olio, per evitare che una grande quantità di vapore d'olio rientri nel contenitore pompato, viene solitamente aggiunto un sifone, un deflettore di raffreddamento dell'acqua all'ingresso della pompa a diffusione dell'olio . A seconda dei requisiti, alla tubazione possono essere aggiunti anche collettori di polvere, testine di misurazione del relè del vuoto, tubi flessibili di collegamento del vuoto, valvole di sfiato dell'aria di aspirazione della pompa del vuoto, radiatori, ecc., formando così un sistema per alto vuoto relativamente completo.

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