Guarda Macchina per rivestimento PVD

La macchina per rivestimento ionico si riferisce principalmente a un tipo di rivestimento che deve essere eseguito sotto vuoto elevato, compresi molti tipi, tra cui macchina per rivestimento per evaporazione sottovuoto, macchina per rivestimento ionico multi-arco sottovuoto, macchina per rivestimento sputtering magnetron a frequenza intermedia sottovuoto, magnetron a frequenza intermedia multifunzionale Sputtering multi-arco macchina di rivestimento a ioni compositi, macchina di rivestimento ottica sottovuoto (evaporazione del fascio di elettroni) e altre serie di apparecchiature di rivestimento sottovuoto, l'idea principale è divisa in due tipi di evaporazione e sputtering.

I rivestimenti di sputtering ionico vengono eseguiti principalmente in presenza di gas reattivi e la stabilità e le costanti ottiche dei film depositati composti dipendono dal tipo di gas e dal materiale del catodo. Il gas reattivo comunemente usato è l'ossigeno e i materiali catodici comunemente usati sono ferro, nichel, rame, piombo, ecc., ea volte oro elettrometallico, platino, palladio, indio e altri metalli. L'ossido formato dallo sputtering reattivo è un materiale di rivestimento con assorbimento ma indice di rifrazione non molto elevato.

L'operazione di rivestimento per polverizzazione è strettamente correlata alle apparecchiature di rivestimento per polverizzazione. Attualmente sono disponibili in commercio dispositivi ben raffinati che vengono montati nella posizione del tavolino sotto il microscopio. Quando si spruzza il rivestimento, posizionare il campione lucidato sulla testa del modello, inclinarlo nella posizione di fronte al cannone elettronico (catodo), regolare la pressione dell'aria nella camera di spruzzatura, scarica a bagliore, spruzzatura catodica e deposizione di polverizzazione reattiva. Dopo un certo periodo di tempo, lo sputtering viene interrotto, la superficie del campione depositato dallo sputtering viene riportata nella posizione rivolta verso la lente dell'obiettivo e si osserva il colore della superficie del campione per valutare lo spessore del film depositato. Quando si ottiene il colore richiesto, l'operazione di rivestimento viene interrotta.

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